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光刻工藝

文章出處:本站  責任編輯:Editor  人氣:1025  發表時間:2019-1-4 10:11:02  【

        光刻技術是指在光照作用下,借助光致抗蝕劑(又名光刻膠)將掩膜版上的圖形轉移到基片上的技術。其主要過程為:首先紫外光通過掩膜版照射到附有一層光刻膠薄膜的基片表面,引起曝光區域的光刻膠發生化學反應;再通過顯影技術溶解去除曝光區域或未曝光區域的光刻膠(前者稱正性光刻膠,后者稱負性光刻膠),使掩膜版上的圖形被復制到光刻膠薄膜上;最后利用刻蝕技術將圖形轉移到基片上。

工藝流程:

      常規光刻技術是采用波長為2000~4500埃的紫外光作為圖像信息載體,以光致抗蝕劑為中間媒介實現圖形的變換、轉移和處理,最終把圖像信息傳遞到晶片(主要指硅片)或介質層上的一種工藝。在廣義上,它包括光復印和刻蝕工藝兩個主要方面。
     ①光復印工藝:經曝光系統將預制在掩模版上的器件或電路圖形按所要求的位置,精確傳遞到預涂在晶片表面或介質層上的光致抗蝕劑薄層上。
     ②刻蝕工藝:利用化學或物理方法,將抗蝕劑薄層未掩蔽的晶片表面或介質層除去,從而在晶片表面或介質層上獲得與抗蝕劑薄層圖形完全一致的圖形。集成電路各功能層是立體重疊的,因而光刻工藝總是多次反復進行。例如,大規模集成電路要經            過約10 次光刻才能完成各層圖形的全部傳遞。
曝光方式
常用的曝光方式分類如下:
接觸式曝光和非接觸式曝光的區別,在于曝光時掩模與晶片間相對關系是貼緊還是分開。接觸式曝光具有分辨率高、復印面積大、復印精度好、曝光設備簡單、操作方便和生產效率高等特點。但容易損傷和沾污掩模版和晶片上的感光膠涂層,影響成品率和掩模版壽命,對準精度的提高也受到較多的限制。一般認為,接觸式曝光只適于分立元件和中、小規模集成電路的生產。
非接觸式曝光主要指投影曝光。在投影曝光系統中,掩膜圖形經光學系統成像在感光層上,掩模與晶片上的感光膠層不接觸,不會引起損傷和沾污,成品率較高,對準精度也高,能滿足高集成度器件和電路生產的要求。但投影曝光設備復雜,技術難度高,因而不適于低檔產品的生產。現代應用最廣的是 1:1倍的全反射掃描曝光系統和x:1倍的在硅片上直接分步重復曝光系統。
介紹
直接分步重復曝光系統 (DSW)  超大規模集成電路需要有高分辨率、高套刻精度和大直徑晶片加工。直接分步重復曝光系統是為適應這些相互制約的要求而發展起來的光學曝光系統。主要技術特點是:
①采用像面分割原理,以覆蓋最大芯片面積的單次曝光區作為最小成像單元,從而為獲得高分辨率的光學系統創造條件。
②采用精密的定位控制技術和自動對準技術進行重復曝光,以組合方式實現大面積圖像傳遞,從而滿足晶片直徑不斷增大的實際要求。
③縮短圖像傳遞鏈,減少工藝上造成的缺陷和誤差,可獲得很高的成品率。
④采用精密自動調焦技術,避免高溫工藝引起的晶片變形對成像質量的影響。
⑤采用原版自動選擇機構(版庫),不但有利于成品率的提高,而且成為能靈活生產多電路組合的常規曝光系統。
這種系統屬于精密復雜的光、機、電綜合系統。它在光學系統上分為兩類。一類是全折射式成像系統,多采用1/5~1/10的縮小倍率,技術較成熟;一類是1:1倍的折射-反射系統,光路簡單,對使用條件要求較低。
光抗蝕劑編輯
光致抗蝕劑,簡稱光刻膠或抗蝕劑,指光照后能改變抗蝕能力的高分子化合物。光蝕劑分為兩大類。
①正性光致抗蝕劑:受光照部分發生降解反應而能為顯影液所溶解。留下的非曝光部分的圖形與掩模版一致。正性抗蝕劑具有分辨率高、對駐波效應不敏感、曝光容限大、針孔密度低和無毒性等優點,適合于高集成度器件的生產。
②負性光致抗蝕劑:受光照部分產生交鏈反應而成為不溶物,非曝光部分被顯影液溶解,獲得的圖形與掩模版圖形互補。負性抗蝕劑的附著力強、靈敏度高、顯影條件要求不嚴,適于低集成度的器件的生產。
半導體器件和集成電路對光刻曝光技術提出了越來越高的要求,在單位面積上要求完善傳遞圖像的信息量已接近常規光學的極限。光刻曝光的常用波長是3650~4358 埃,預計實用分辨率約為1微米。
幾何光學的原理,允許將波長向下延伸至約2000埃的遠紫外波長,此時可達到的實用分辨率約為0.5~0.7微米。微米級圖形的光復印技術除要求先進的曝光系統外,對抗蝕劑的特性、成膜技術、顯影技術、超凈環境控制技術、刻蝕技術、硅片平整度、變形控制技術等也有極高的要求。因此,工藝過程的自動化和數學模型化是兩個重要的研究方向。
基本步驟編輯
1.氣相成底模
2.旋轉烘膠
3.軟烘
4.對準和曝光
5.曝光后烘焙(PEB)
6.顯影
7.堅膜烘焙
8.顯影檢查

如何才能保證光刻產品的品質

一、我的客戶需要什么?我如何幫助客戶實現?

首要的問題我們始終站在客戶的角度考慮問題。因為我們是光刻行業的資深人員,了解客戶想的是什么,他的產品由我們的加工能否解決客戶問題 ?客戶設計初步階段如何幫助客戶去規避一些生產風險?這都 是作為一個服務型工廠必須考慮到的問題。耀達發精密五金擁有自己的工程團隊,擁有資深的工程設計人員,可以將客戶的需求轉化的初步設計的考量,不僅幫助客戶實現產品的設計,還要達到客戶使用產品的功能。

資深工程

二、對客戶來說,耀達發精密與別人相比獨特的專長是什么?

我們是專業的蝕刻加工團隊,深耕蝕刻行業多年。我們的專長就是可以利用我的優秀的資源,對一些超精密的產品進行獨一無二的設計。利用我們的靈活性,專門配備的樣品攻關,批量攻關團隊,為客戶的產品進行量身打造,無論是時間周期還是管控精度,我們都可以隨時對應。針對客戶的急件,甚至可以24小時內完成,以解客戶的燃眉之急。

團隊協作

三、耀達發精密能給客戶的公司增加多大的價值?

價值取決于提供的服務是否精準。耀達發精密五金針對客戶的產品設計制造過程中,采用量化的標準,利用合理的利潤空間的同時,幫助客戶實現設計初衷。只有客戶的設計能完美的實現并優于現有市場上的同類產品,才能為客戶的產品最終贏得市場打下堅實的基礎。實際上,作為下游的加工企業,服務客戶等于幫助客戶,服務客戶等于幫助客戶解決問題。解決現實問題,即幫助客戶實現更大價值。

實現價值

四、耀達發精密提供的什么服務是獨一無二的?

相完備的體系認證,友好的環境要求。堅持環保理念辦工廠!我們的污水廢水均為處理后達標排放,生產產生的酸性廢氣經過處理后抽送,不會對大氣產生污染。因為蝕刻行業采用的是化學藥水的方式進行加工,會產生一些廢渣,重金屬。針對此問題,我們也聯合工業園及環保監控方,由專門的處理公司進行無害化妥善的處理。我們有專業的檢測設備,保證客戶的產品符合設計要求。

質量管控

強調服務、關注客戶的時代,因為服務是營銷的基礎,是連接產品和市場的真正橋梁和紐帶,一家精密蝕刻加工廠的口碑正是植根于它所提供的服務品質。卓越的服務品質不僅是市場經濟發展對光刻提出的具體要求,也正逐漸成為一家金屬蝕刻加工核心競爭力的重要內容之一,在很大程度上影響著其未來的盈利能力。

一、把份內的服務做精

份內服務就是意料之內、情理之中的服務,也是我們本應該做好的服務,是客戶有需求我們也能提供的服務,占據了我們日常工作的絕大部分。如日常的蝕刻業務處理、產品營銷、客戶接待等。正是由于這些工作的日常性和重復性,我們可能會忽略掉其中應該注意的某些細節,有時由于處理不當還會導致客戶的不滿甚至投訴。

1.發自內心尊重和關注客戶,迅速響應客戶微孔過濾網的需求

所有為客戶提供服務的工作人員都要樹立全面正確科學的服務觀,真正將客戶作為上帝,尊重客戶的選擇和隱私,關注客戶的感受,換位思考,站在客戶立場為客戶辦理業務、解決困難。對于客戶在服務工作和業務辦理中提出的各種訴求積極響應,迅速行動;多方面尋求幫助,讓客戶感到賓至如歸。

2.注意每一個金屬蝕刻加工的細節

細節決定成敗。蝕刻的工作中要特別注意細節。在日常工作中,從著裝、儀表到文明用語的使用等都從細處反映了我們的職業化水平,一個微笑、一個手勢、一個問候都能讓客戶感到溫馨;能夠為客戶提供“一站式”,整體方案的提出服務,做到客戶有人問、我們有回應,更是從細處體現了我們的專業化水準,這些是我們細化服務的基礎性工作。

3.提供優良的服務環境、便利的服務措施

現在的客戶越來越重視服務環境和溝通的便捷性。我們要注重內外部環境建設,加大對網站的細節圖片的處理,優化,為客戶提供更溫馨舒適的網絡產品瀏覽環境。還需注意為特殊客戶(如新品開發)提供相應的特殊便利條件。

深圳市耀達發精密科技有限公司

地址:深圳市寶安區福永街道塘尾和沙路富民工業區B5棟1樓

 

直線:劉先生135 3425 7051(同微信) 郵箱:ly@sz-ydf.com

QQ劉先生:252292527;阿里旺旺-劉先生 :xieliuliu 

公司網址:www.ztsdgs.com

生產線地址:深圳市寶安區西鄉街道金德路2號草圍第二工業區雙聯精密J棟2樓

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